05µm 2P2M CMOS工艺平台。0.5微米栅长, 双层多晶,双层金属. 应用于LED 电路驱动,工作电压3.3V~5V, (12V,40V 可选)。具有详尽的设计规则,精确的SPICE模型。
工艺特性
Ø Ø 工作电压3.3V~5V,(12V,40V 可选),0.5微米CMOS,双多晶,两层金属,双阱工艺。
Ø Ø 衬底材料为P型、<100>晶向、15~25欧姆.厘米。
Ø Ø 12块掩模版,15个光刻层。
Ø Ø 可提供N型只读掩模代码。
Ø Ø 标准的局部氧化隔离工艺。
Ø Ø 栅氧厚度为125埃,采用硅化物栅极。
Ø Ø N/P型轻掺杂漏区和侧壁结构。
Ø Ø 钛/氮化钛/铝硅铜/氮化钛结构的互连层。
Ø Ø 氧化硅/氮化硅结构的钝化层。
Ø Ø IMD SOG 平坦化工艺。
Ø Ø 钨塞工艺
Ø Ø POP多晶硅电容。
Ø Ø 多晶硅电阻。
2) 典型应用
Ø Ø DC-AC 转换
Ø Ø LDO 电路驱动
Ø Ø 电源管理芯片
Ø Ø 充电器管理IC
Ø Ø LED电路驱动